Komplette Digitalisate deutschsprachiger gedruckter Schriften fand ich folgende:

Theatrum de veneficis: Das ist, Von Teuffelsgespenst, Zauberern und Giftbereitern, Schwarzkünstlern, Hexen vnd Unholden, hrsg. von Abraham Sawr, Frankfurt/Main, Nicolaus Basse, 1586
http://www.historicum.net/themen/hexenforschung/quellen/traktate/veneficis/

Frisius, Paulus: Deß Teuffels Nebelkappen. Wohlgegründeter Bericht, den gantzen Handel von der Hexerey betreffendt. Franckfurt a. M. 1583
http://www.historicum.net/themen/hexenforschung/quellen/traktate/frisius/

Flugschriften der Reformationszeit:
http://www.historicum.net/themen/reformation/reformation-kommunikationsgeschichtlich/sekundaere-medien/

Latein:

Arnd, Josua (1626-1687)
Tractatus practicus de superstitione quatenus vulgo vanam exercet observantiam, vel alias deducit ad magiam, in usum pastorum, verbi ministrorum, [...].
Güstrow 1664.
Latein (komplett)
http://www.historicum.net/themen/hexenforschung/links/traktate-und-drucke/arnd/